面议
扫描范围:XY:20μm,Z:2μm(可扩展:XY最大150μm,Z最大15μm); 形貌分辨能力 XY:0.2nm, Z: 0.01nm(可实现原子级分辨); 样品最大尺寸为:φ35mm×10mm (H);